ナカタ ユキヒコ   NAKATA Yukihiko
  中田 行彦
   所属   立命館アジア太平洋大学  国際経営学部
   職種   客員教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2003/11
形態種別 論文(学術誌・プロフェショナル誌)
査読 査読あり
標題 Surface Wave Plasma Oxidation at low Temperature under Rare Gas Dilution
執筆形態 単著
掲載誌名 Japanese Journal of Applied Physics
巻・号・頁 42(11),pp.7033-7038
概要 Part 1