ナカタ ユキヒコ   NAKATA Yukihiko
  中田 行彦
   所属   立命館アジア太平洋大学  国際経営学部
   職種   客員教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2002/11
形態種別 論文(学術誌・プロフェショナル誌)
査読 査読あり
標題 Low Temperature Gate Insulator for Poly-Si TFTs by Combination of Photo-Oxidation and PECVD using TEOS and O2 Gases
執筆形態 共著
掲載誌名 Transaction of Institute of Electronics, Information and Communication Engineers (Special Issue on Electronic Display)
巻・号・頁 E85-C(11),pp.1849-1853