ナカタ ユキヒコ   NAKATA Yukihiko
  中田 行彦
   所属   立命館アジア太平洋大学  国際経営学部
   職種   客員教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2002/08
形態種別 論文(学術誌・プロフェショナル誌)
査読 査読あり
標題 光酸化膜とSiH4とN2OガスからのPECVD膜を積層した低温多結晶Si薄膜トランジスタ用ゲート絶縁膜
執筆形態 共著
掲載誌名 電子通信情報学会 和文誌C (薄膜トランジスタ特集号)
巻・号・頁 J85-C(8),666-672頁